在中国半导体设备行业,核心领域取得了显著进展:
■ AMEC的5nm等离子刻蚀系统位列世界领先系统之列,并广泛应用于现代生产线;
■ 薄膜沉积、清洗和化学机械抛光等关键设备也实现了从“可用”到“高效”的质的飞跃,同时国产化程度不断提高;
■ 尤其值得关注的是价值链内部的显著协同效应:设备和晶圆制造商正在联合开发验证平台,元器件制造商正在加速融入高端供应链。这正推动行业从零星突破向系统化供应转变;
■ 在知识产权和技术差异化方面,领先企业通过自主创新开发出独特的技术解决方案。
